产品简介：

1适用对象：发光二极管芯片
2清洗规格：2 inch ,4 cassette/Batch, 25 Pcs/cassette；   4 inch，2 cassette/ Batch，25 Pcs/cassette；

3 工艺说明:手动方式实现放件，取件，槽体间传送件。

4 设备形式:室内放置型。

5 腐蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性；

6 工艺参数（温度，时间，DIW水清洗模式、时间可调）手动由触摸屏界面可设定；

7机台前方为清洗工作区域，机台后上方为电器和气路布置区域，后下方为液路布置区域。

8药液供给及补液方式:分体式CDS自动供液系统

9 DI槽配有在线式水质检测装置；

10 配有分体式废液回收系统；