※ 控制模式: 手动控制模式 自动控制模式；
※ 清洗规格： 2 inch ,4 cassette/Batch, 25 Pcs/cassette； 4 inch，2 cassette/ Batch，25 Pcs/cassette；
※ 设备形式: 室内放置型；
※ 尺寸(参考，含地脚)：3000 mm(L)× 1500 mm(W)× 2000+1000 mm(H)；
※ 工艺说明:全程机械传动，自动方式实现槽体间传送工件全程自动化控制，工艺过程中没有人工干预，保证产品性能的一致性；
※ 腐蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性；
※ 工艺参数（温度，时间，DIW水清洗模式、时间可调）手动由触摸屏界面可设定；
※ 机台前方为清洗工作区域，机台后上方为电器和气路布置区域，后下方为液路布置区域。
※ 机械臂的横向移动和纵向提升均采用进口伺服马达，闭环控制，定位精度≤0.3mm，可靠性高；
※ 采用双导轨结构及线性模块传动，几何曲线加减速运动，冲击小、运动平稳。
※ 为确保清洗工艺和机械手的使用寿命，机械手由多种工业材料和特殊的表面处理构成。
