测量软体
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LT-VMS Ver1.5版
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目镜
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10X广角+1XCCD接头
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解析力
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0.00035mm(3000X时)
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物镜
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5X、10X、40X、60X
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重复性度
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0.0004 mm(3000X时)
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总放大倍数
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125*3000*分档变倍
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载物台
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X、Y十字桌面
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外观尺寸
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450*250*600mm
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光源
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同轴落射式光源+透射式下光源+偏振光路
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台面大小
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140*180mm
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CCD
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SONY芯片43万像素高清CCD
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X、Y行程
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70*50mm
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