碳氢清洗剂是馏程在140-190℃左右的正构和异构烷烃。一般是石油经粗蒸馏、加氢、精馏、异构化制成。碳氢清洗剂与其他清洗剂相比有许多优势：
1、清洗性能好。碳氢清洗剂与大多数的润滑油、防锈油、机加工油同为非极性的石油馏分，根据相似相容的原理，碳氢清洗剂清洗这些矿物油的的效果要好于卤代烃和水基清洗剂。
2、蒸发损失小。碳氢清洗剂沸点一般在150℃以上，在使用保管过程中挥发损失要比沸点在40~80℃的卤代烃小得多，对包装物和设备的密封要求很低。
3、无毒。经毒理试验，碳氢清洗剂的吸入毒性、经口毒性和皮肤接触毒性均为低毒，且不属于致癌物质，与卤代烃相比对清洗操作人员更安全。
4、相容性好。碳氢清洗剂中不含水份和氯、硫等腐蚀物，对各种金属材料不会产生腐蚀和氧化。另外，由于其属于非极性溶剂，对大部分塑料和橡胶没有溶解、溶胀和脆化作用，因此应用范围极广。
5、可彻底挥发无残迹。碳氢清洗剂是非常纯净的精制溶剂，在常温和加温状态下均可完全挥发，没有任何残留。
6、不破坏环境。碳氢清洗剂可以自然降解，清洗废液可以放入燃煤或燃油锅炉中焚烧，焚烧的生成物主要为CO2和水，对空气没有污染。碳氢清洗剂中不含氯，对臭氧的破坏系数为零。
7、价格便宜。普通碳氢清洗剂的价格相当于F-113价格的50%以下，是某些ODS替代品价格的二十分之一。由于碳氢清洗剂的密度为0.75左右，大大低于卤代烃溶剂的密度，因此在同样容积的清洗槽中碳氢清洗剂的加入量仅为卤代烃清洗剂的一半。
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尽管碳氢清洗剂有诸多优点，但与ODS清洗剂相比，其沸点高（150～190℃）而闪点低（ 50～70℃）。虽然较高的沸点可以减少清洗剂在储存、运输和使用过程中的挥发损耗，但也使清洗后工件的干燥速度大大降低，使清洗剂的蒸馏再生变得困难。较低的闪点则提高了清洗、干燥和蒸馏再生中的防火要求。
为了使经济适用的碳氢清洗剂得到更好的利用，日本企业将真空技术应用到清洗设备中，开发出一种全新的清洗设备——真空清洗干燥机，彻底克服了碳氢清洗剂的弱点，使碳氢清洗在日本得到广泛的应用。
