氧化锆陶瓷激光加工

氧化锆陶瓷激光加工是利用高能量密度(108-1O10W/cm2)的均匀激光束作为热源，在加工陶瓷材料表面局部点产生瞬时高温，局部点熔融或气化而去除材料。激光加工是一种无接触、无摩擦式加工技术，加工过程中不需模具，通过控制激光束在陶瓷材料表面的聚焦位置，实现对三维复杂形状材料的加工。陶瓷激光加工适合于在有机物和陶瓷等无机物材料上进行微钻孔、微切割、制作微结构。目前已能加工直径为4-5ｕm、深径比达10以上的微孔。通常所用激光源为CO2和Nd:YAG激光。

氧化锆陶瓷激光加工的特点：

①由于激光加工是将高平行度、高能量密度的激光聚集到工件表面上来进行热加工所以激光光点的直径在理论上可达Iｕm以下，能进行非常微细的加h

②由于激光加工的功率密度非常高，可达到1u/cm-以上，并能做得更高，故对那些用以往的方法难于加工的材料都能用激光加工

③由于能把工件离开加工机，以适当的距离进行非接触式加工，所以不会污染材料，另外加工变形及热变形也很小；

④通过选择适当的加工条件能用同一装置进行打孔和焊接；⑤能通过透明体进行加工⑥与电子束加工机相比，不需要真空，也不需要X射线进行防护，因此装置简单，工作性能良好!

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梁经理