并非只有完全电离的气体才是等离子体，但需要有足够高电离度的电离气体才具有等离子体性质。当体系中“电性”比“中性”更重要时，这一体系可称为等离子体。
等离子技术产生的高能电子能量高，自由基密度大，因此绝大部分有毒有害物质均能被分解，且处理对象广泛，对各种工业有机废气及国家《恶臭污染排放标准》中规定的八大恶臭物质均能有效去除。相比其它废气处理方法，等离子体技术具备能耗低、使用便利、无二次污染等特点，是目前废气污染治理中富有前景、行之有效的技术方法。
传统治理VOC及异味气体的方法（如吸收法、热氧化法、膜分离法、生物反应法和光催化法等）由于对于低浓度气体治理效率不高，各国利用不同的冷等离子体发生装置治理废气，通过比较不同放电形式的等离子体对废气的去除效率，发现介质阻挡放电等离子体的去除率，这也成为近几年研究
大流量低温等离子废气治理装置为意义上的等离子体废气治理技术。所要治理的废气通过等离子体区，使之离子化，形成电离状态，在高能电子和粒子的轰击下，加之等离子体态中丰富的氧化活性基团，在较短的时间类分解反应成为二氧化碳、水或是小分子化合物。而非单纯的依靠臭氧来氧化反应。
