洁净度：以单位体积空气某粒径粒子的数量来区分的洁净程度。
洁净室：空气悬浮粒子浓度受控的房间，它的建造和使用应减少室内诱入，产生及滞留粒子，室内其它有关参数如温度，湿度，压力等按要求进行控制。
洁净区：空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。它的建造和使用应减少空间内诱入，产生及滞留粒子，空间内其它有关参数如温度，湿度，压力等要求进行控制，洁净区可以是开放式或封闭式。
移动式洁净小室：可整体移动位置的小型洁净室，有钢性或薄膜围挡两类。
人身净化用室：人员在进入洁净区之前按一定程序进行净化的房间。
物料净化用室：物料在进入洁净区之前按一定程序进行净化的房间。
气流流型：对室内空气的流动形态和分布进行合理设计。
单向流：沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流。
垂直单向流：与水平面垂直的单向流。
水平单向流：与水平面平行的单向流。
非单向流：凡不符合单向流定义的气流。
混合流：单向流和非单向流组合的气流。
空气吹淋室：利用高速洁净气流吹落并清除进入洁净室人员表面附着粒子的小室。
气闸室：设置在洁净室出入口，阻隔室外或邻室污染气流和压差控制而设置的缓冲间。
传递窗：在洁净室隔墙上设置的传递物料和工器具的开口。两侧装有不能同时开启的窗扇。
洁净工作台：能够保持操作空间所需洁净度的工作台。
高效空气过滤器：在额定风量下，对粒径大于等于0.3μm粒子的捕集效率在99%以上及气流阻力在250Pa以下的空气过滤器。
超高效空气过滤器：在额定风量下，对粒径0.1-0.2μm粒子的捕集效率在99.999%以上及气流阻力在280Pa以下的空气过滤器。
纯水：对电解质杂质含量（常以电阻率表征）和非电解质杂质（如微粒，有机物，细菌和溶解气体等）含量均有要求的水。
生物洁净室：洁净室空气中悬浮微生物控制在规定值内的限定空间。
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