半导体参数测试仪是一种用于物理学、信息科学与系统科学、材料科学、机械工程领域的仪器。

　　一、半导体参数测试仪的SLM+PLM组合光学架构介绍：

　　（1）基于高精度DMD的SLM空间光调制激光直写和PLM相位调制

　　（2）频闪平铺光斑曝光FlashTileBeamLithography(FTBL)

　　（3）支持500nm分辨率的任意图形和100nm的特征图形光刻

　　（4）运行效率比传统采用Scanning的激光直写系统提高数倍以上

　　（5）多写入模式（频闪光斑平铺曝光、灰度曝光、拖曳扫描和矢量扫描）的选择能够针对

　　二、半导体参数测试仪的不同的应用需求优化图形与微结构的性能：

　　（1）海量数据处理和全尺寸覆盖

　　（2）最大支持110"数据处理

　　（3）SLM空间光调制，数据处理速率达30000帧/秒

　　（4）PLM位相调制，数据处理速率达30000帧/秒可以满足2"-110"基板的直写光刻

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