台阶仪dektak 150 表面轮廓仪（探针式）
规格：
测试技术：探针轮廓技术
测试功能：二维表面轮廓测试
样品视场：640*480像素，usb；17 inc 平板显示器
探针传感器：低惯量传感器（lis 3）
探针压力：使用lis 3传感器：1至15 mg
使用n-lite传感器：0.03至15 mg
探针选项：探针曲率半径可选范围：50 nm至25 um;
高径比针尖：10 um * 2 um 和200 um*20 um
样品载物台：手动x/y/@：100*100 mm, 360度旋转，可手动校平；
可选y自动移动载物台，100 mm行程，1um重现性，0.5 um分辨率；
可选x-y自动移动载物台，150 mm行程；
1um重现率，0.5 um 分辨率
计算机系统：主机使用celeron或者semprom处理器
软件：dektak软件
台阶检测软件
可选应力测量软件
可选三维vision分析软件
可选缝合软件
减震装置：可选桌式震动隔离装置
可选台式震动隔离装置
性能
扫描长度范围 55mm（2.1英寸）
每次扫描数据点zui多12万数据点
zui大样品厚度高达90 mm （4英寸），取决于配置
zui大晶圆尺寸 150 mm（6英寸）
台阶高度重现性 6埃
垂直范围：标准524um（0.02英寸）；可选1mm
垂直分辨率：zui大1a（6.55um垂直范围下）
尺寸：292 mm *508 mm*527 mm
重量：34 kg
电源要求：
输入电压： 100-120vac/200-240vac, 50-60 hz
无论是用于科学研究还是工业生产，dektak 150探针式表面轮廓仪都具有业内的表现性能，zui高的测量重复性以及zui大的扫描范围。dektak 150集四十多年的技术积累和创新于一身，为满足用户不同应用方向的需要提供了多种可选配置。坚固的铝质材料铸成的机身框架以及支撑部件显著提高了仪器的重复精度，并降低了地板噪音对测量的干扰。基于windows®xp的软件用户界面，使用户迅速掌握dektak 150。分析功能齐全，界面直观，包括从简便的一键"进针即测量"，到多次扫描结果的自动分析。通过选配三维成像附件套装还可以*地扩充仪器的功能。
