最大测量直径Φ300mm
左右移动范围(R轴) 170mm
上下移动范围(Z轴) 300mm(高立柱: 500mm)
最大装载直径Φ580mm
最大测量高度外径: 300mm(高立柱: 500mm)
回转精度
回转方向JIS B 7451-1997 (0.02+4H/10000)μm(H:台面到测量点的高度)
轴向JIS B 7451-1997 (0.02+4H/10000)μm(H:回转中心到测量点的距离)
直线度Z轴(上下方向) 0.12μm/100mm 0.20μm/290mm(高立柱: 0.28μm/490mm)
R轴(半径方向) 0.8μm/150mm
平行度Z轴(上下方向) 0.8μm/290mm(高立柱: 1.18μm/490mm)
R轴(半径方向) 1.0μm/150mm
指示精度R轴(半径方向) (2+L/170) μm L:测量长度
回转速度(θ轴)
测量时2-10转/分
自动调中心和倾斜时2, 4, 6, 10, 20转/分
Z轴速度测量速度(移动速度) 0.5-6mm/s(最大50mm/s)
R轴速度测量速度(移动速度) 0.5-6mm/s(最大25mm/s)
自动停止精度Z轴/R轴±5μm
回转台
回转台外径Φ220mm
调整范围/中心倾斜±2mm/±1º
装载重量30kg
传感器
测量力30-100Mn(可调)
测针形状Ф1.6钢球,长度53mm
测量点数14400点/转
滤波类型数字滤波器高斯/2RC/多槽轴
OUT OFF
回转方向(θ轴)
低通15, 50, 150, 500, 1000峰/转15-1500峰/转
带通15-150, 15-500, 15-1500任意值峰/转
直动方向(Z轴)低通0.025, 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8mm,任意值(最小分度0.0001mm)
量程±1000μm ±200μm
评价方式MZC(最小区域圆法), LSC(最小二乘圆法), MIC(最大内接圆法), MCC(最小外接圆法), N.C.(无修正法), Multi(复合指定)