技术参数
量 程：0~100ppb,0-1/10/100ppm 可选0~50/500ppb,0-5/50ppm O2 自动/手动调节。
传感器：Pico-lon 技术燃料电池—GPR-13-2000UHP。
准确度：量程的1%（在常温，常压下）。
分辨率：量程的0.5%
传感器寿命：18个月（在100ppm下）
线性度：R平方值>0.995
校准气：建议采用80%FS O2 in N2标准气.
响应时间：60秒达到90%
回复时间：15分钟从9ppm（1分钟）到10ppb
30分钟从1ppm（5分钟）到1ppb
物理特征
封装：台式13.9" x 9.9" x 13.4"
可选：面板安装，壁挂安装，19”支架安装
电器特征
认 证：ISO9001，CE认证。
显 示：大屏幕LCD显示，实时显示样气压力和温度。
控制键：带有四个防水按键，可方便地选择量程、校准、报警和系统设置功能。
智能性：量程自动切换功能，数据自动存储功能和图形显示，通过USB远端控制。
温漂抑制：带恒温控制系统，并带有自动压力和温度补偿功能。
输 出：RS232或USB数字接口，0~1V或隔离的4~20mA模拟输出，量程提示输出
报 警：两路继电器报警输出，电源失败报警输出，传感器失败报警输出。
电 源：220 V AC@50Hz。
操作条件
应用领域：半导体行业
测量介质：H2、 He,、碳氢化合物、惰性气体等
气路接口：进气口采用1/4"VCR接头，出气口采用1/4”卡套接头
压力：20~50psig（最大150psig）
温度：5~+45℃
流量：1~3 SCFH，推荐：2 SCFH(立方英尺/每小时)
