M3030VA M3030VA质量流量控制器 M3030VA气体质量流量控制器 LINE TECH质量流量控制器 气体质量流量控制器
LINE TECH自1997年成立后迈进了气体控制相关技术工程，终于诞生出今天的M系列，MFC/MFM产品。
LINE TECH气体质量流量控制器和流量计广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入，直拉式晶炉，精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业。
主要参数：
流量范围： 0.01-30(slpm)
响应时间： ≤2
精 度： ≤1%
重 复 性： ±0.25
输出信号： 0-5vdc或4-20mA
供电电压： 15-28vdc 350mA
温度范围： 0-50℃
漏 率： 1×10负9次方atm.cc/sec
使用范围： 2-100% for max range
相关型号：
M3030V M3030A M3050V M3050A M3100V M3100A
M2030V M2030A M2050V M2050A M2100V M2100A
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