金属四探头电阻率方阻测试仪 - HS-MPRT-5
本仪器用来测量硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO 导电箔膜、导电橡胶等材料方块
电阻的小型仪器.本仪器按照半导体材料电阻率的国际及国家标准测试方法有关规定设计。 它主要
由电器测量部份（主机）及四探头组成，需要时可加配测试架。 为减小体积，本仪器用同一块数字
表测量电流及阻率。样品测试电流由高精宽的恒流源提供，随时可进行校准，以确保电阻率测量的
准确度。因此本仪器不仅可以用来分选材料也可以用来作产品检测。对1～100Ω·cm 标准样片的
测量偏差不超过±3%，在此范围内达到国家标准一级机的水平。
金属四探头电阻率方阻测试仪- 产品特点
■ 采用金属探头，游移率小，稳定性高。
■ 仪器采用220V 交流电源供电
■ 适用于西门子法、硅烷法等工艺生产原生多晶硅料的企业”
■ 适用于物理提纯生产多晶硅料生产企业
■ 适用于光伏拉晶铸锭及 IC 半导体器件企业
■ 具有抗强磁场和抗高频设备的性能
金属四探头电阻率方阻测试仪- 技术指标
■ 电阻率：0.01～199.9Ω·cm
■ 方块电阻：0.1～1999Ω/口
■ 直流数字电压表 测量范围：0～199.9mv
灵敏度：100μv
准确度：0.2%（±2 个字）
■ 电源： AC 220V ± 10% ， 50HZ
■ 功耗：最大功耗 ≤10W ，平均功耗≈ 8W