激光椭偏仪

激光椭偏仪
多角度激光椭偏仪(PH-LE型)专门针对晶硅太阳能电池绒面上的减反膜测量，能够测量薄膜厚度及其光学常数，使用632.8nm波长氦氖激光器，具有极高的精确度和准确度。 多角度激光椭偏仪 - 产品特点 ■ 可以测量单晶电池片、多晶电池片 ■ 可以测量抛光片，精确度和准确度极高 ■ 可以测量粗糙表面的“绒片” ■ 适用于对太阳能电池粗糙表面减反膜造成的低反射光强进行测量 ■ 可对太阳能电池粗糙表面减反膜造成的退偏因数（偏振因数）进行测量和评估，提高测量精度 ■ 配置有高稳定度补偿器，提供最小的漂移值和最小的测量误差 ■ 配置有高精度的自动光学对准显微镜 ■ 可进行20°－90°范围内的多角度测量 多角度激光椭偏仪 - 测量特点 ■ 非破环性检测 ■ 样品准直简单方便 ■ 测量速度快 ■ 可变入射角范围宽 ■ 绝对测量 ■ 软件分析功能强
多角度激光椭偏仪 - 技术指标 ■ 光源：He-Ne激光器 ■ 光斑直径：1-2mm ■ 入射角范围：20°到90°,5°/步 ■ 精度：0.002°~ 0.02° ■ 膜厚精度：0.01mm，对100nmSiO2on Si ■ 折射率精度：0.0005，对100nmSiO2on Si ■ 激光光斑：直径1mm