掺杂，又称配料，掺杂的目的主要是用来改变硅熔体中施主杂质（如磷）或受主杂质（如硼）的杂质浓度，使其生长出的单晶电阻率达到规定的要求。
拉制一定型号和电阻率的单晶硅，要选用适当的掺杂剂 - 母合金。拉制电阻率较高的硅单晶则采用母合金作掺杂剂。 采用“母合金”作为掺杂剂是为了使掺杂量容易控制、更准确。