CCQ系列气动超高真空插板阀
CCQ系列气动超高真空插板阀是以压缩空气为动力，通过电磁换向阀改变气路方向，控制气缸活塞，驱动阀板作上下运动，使用阀门开启或关闭，用于接通或切断真空管路中的气流。
适用的工作介质为纯净空气和非腐蚀性气体。
带反馈信号装置。
气动超高真空插板阀主要零件材料：
阀体、阀板：不锈钢。
密封件：氟橡胶、波纹管(轴封)、丁腈橡胶。
气动超高真空插板阀主要技术性能：
适用范围(Pa) 　105～1.3×10-7Pa
　阀门漏率(Pa.L/S) 　≤1.3×10-7Pa.L/S.(DN≤200)
　≤6.7×10-7Pa.L/S.(DN≥250)
　适用温度（℃） 　-30～+150℃
　阀门开启时阀板两侧的压差(Pa) 　≤2.7×103Pa.
　气源压力 （MPa） 　0.4～0.6MPa
电源电压V/Hz 标准出厂：AC220V/50Hz
特殊指定：AC110V；DC24V；DC12V等
信号反馈 标准出厂：不带反馈信号
特殊指定：磁性开关DC/AC5～240V
气动超高真空插板阀外形及连接尺寸
 
型号 DN A H D Do D1 D2 D3 L L1 G E n-d 法兰标准
CCQ-50 50 60 92 89 72.4 61.6 55.6   515 153 220 65 8-M8 GB6071
CCQ-63 63 65 105 114 92.1 82.6 76.6   566 180 220 80 8-M8 
CCQ-80 80 65 130 130 110 99 93   603 200 220 80 16-M8 
CCQ-100 100 70 152 152 130.2 120.7 114.7   653 267 220 95 16-M8 
CCQ-150 150 70 202 202 181 171.5 165.5   771 350 270 95 20-M8 
CCQ-200 200 80 251 253 231.8 222.3 216.6   889 424 270 115 24-M8 
CCQ-250 250 85 300 314 288 308 275 271 1127 574 350 140 24-M10 JB5278
CCQ-300 300 85 352 365 338 353 323 318 1197 613 420 140 32-M10 
CCQ-320 320 85 372 385 357 379 344 340 1197 613 440 140 36-M10 JB5278
CCQ-400 400 110 456 497 454 480 440 436 1666 810 536 180 36-M12 
CCQ-500 500 135 595 590 555 580 540 536 1835 870 640 220 40-M12 
CCQ-630 630 135 690 700 658 680 639 635 1930 960 780 280 40-M16 
CCQ-800 800 150 880 890 855 880 835 831 2200 1100 950 350 60-M16