逆气流清灰是利用与过滤气流相反的气流，使滤袋变形而使粉尘层脱落。其清灰作用一方面是由于反向的清灰气流，使滤袋变形而使粉尘层脱落。其清灰作用方面是由于反向的清灰气流直接冲击尘块，另一方面是由于气流方向的改变滤袋产生的涨缩震动而使尘块脱落。

与机械振动清灰方式相同，逆气流淸灰也多采用分室工作制度，利用阀门自动调节，逐室地 产生反向气流。

这种清灰方式有有反吹风淸灰和反吸风清灰两种形式，反吹风使用正压将气流吹入滤袋，反吸风则是以负压将气流吸出滤袋。逆气流可由系统主风机供给，或有专设的反吸（吹）风风机供给，通常逆气流淸灰在整个滤袋上的气流分布较均匀，振动不剧烈，对滤袋的损伤较小，但清灰作用较弱，因而允许的过滤风速较低，且通常都采用停风清灰。有时也会产生粉尘层的局部剥落，称为斑状剥落。

某些逆气流淸灰装置设有产生脉动作用的机械结构，便可给予反向气流的脉动作用。这种结构具有较强的清灰能力，若采取部分滤袋逐次清灰时，则不需要分室结构形式。

采用高压气流反吹淸灰可以得到较好的淸灰效果，可以在过滤工作状态下进行清灰，为此需另设中压或高压风机，此种情况下可采用较高的过滤风速。

此外，还可以考虑采用机械逆气流联合清灰方式，在逆气流淸灰的同时，辅以机械清灰方式，以加强清灰效果。