等性能之特性。无尘车间最主要之作用在于控制产品所接触之大气的洁净度以及温湿度，使产品能在一个良好之
环境空间生产、制造。
无尘车间中的温湿度控制
无尘车间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空
气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但
作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产
的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
无尘车间中的气压规定
对于大部分无尘车间，为了防止外界污染侵入，需要保持内部的压力（静压）高于外部的压力（静压）。压力差
的维持一般应符合以下原则：
1．无尘车间的压力要高于非无尘车间的压力。
2.洁净度级别高的车间的压力要高于相邻的洁净度级别低的车间的压力。
3.相通无尘车间之间的门要开向洁净度级别高的车间。
