(X/Y/Z轴)量测行程(mm)

250*150*200

300*200*200

400*300*200

600*600*300

全机尺寸(mm)

800*500*1650

800*500*1650

980*650*1650

1180*850*17500

机台底座和立柱材料

高精度花岗石

CCD

43万像素品牌CCD

X,Y轴量测精度

（3+L/200）μm

放大倍率

Step Zoom光学放大率：0.7X-4.5X，影像放大率：28X-180X

光学尺解析度

1μm

重复性

2μm

操作方式

自动

电源供给

110/220V

合适温度，湿度

温度：19°--24°，湿度：45%--75%

保修期

1年