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深圳三和波达机电有限公司

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微电子等离子清洗机YZDO8-2C

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    三和波达

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深圳三和波达机电有限公司

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  • 品牌:

    三和波达

  • 单价:

    ¥10000.00 / 台

  • 起订

    1台

  • 总量:

    100台

  • 地址:

    广东深圳市

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    付款后3

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详情描述

 微电子等离子清洗机YZDO8-2C

等离子清洗机型号:YZDO8-2C
不锈钢舱体:Φ100mm×270mm
处理过程:分手动与自动控制
PLC
触摸屏控制
功率:150W
电源:220V
射频电源:40KHz13.56KHZ可选配)
外形型号:440*390*200
容量:2

深圳三和波达机电科技有限公司生产的等离子清洗机YZD08-2C的基本结构:
1
、射频电源部分:射频源,射频调节,功率放大,功率调节,功率输出,输出保护,等离子电极,温度保护。
2
、系统控制部分:数字自控,I/O控制,真空度A/D检测,脉宽比例D/A调节,参数记忆,时钟设定。
3
、真空与气路部分:真空系统,外加气体,流量调节,回气与管路
三和波达等离子清洗机、对于小型等离子清洗机而言,由于射频功率较小,其射频电源与控制都组装在一个机箱内,一是减少空间的占用,二是便于操作和放置,同时与大型清洗机相比较,从检测功能与控制功能的设置上尽量简练。图1为小型机外形。
小型等离子清洗机的工作流程和技术条件:
深圳小型等离子清洗机的系统在满足设定真空度的条件下,启动射频源工作,产生40KHz 的射频脉冲,经过功率放大送到输出级,输出级的作用有三点:一是隔离,二是升压,三是匹配,使具有足够能量的射频脉冲去激发高压极板产生等离子。
功率大小的控制与调节可在系统中进行数字设置,也可通过手动调节。实质上功率的调节是由改变射频脉冲宽度来实现的,图4和图5两个射频脉冲坐标示意图很形象的说明了功率调节的原理。
这里所说的理想情况下的射频脉冲输出,是不考虑器件和磁性材料的损耗而表示的,实际的射频脉冲波形都是有一定畸变的,但当畸变程度过大时,就会使输出的有效功率大大降低,不仅不能正常产生等离子,而且还会烧毁设备。另外过多谐波脉冲分量也会造成射频效率的降低,使设备不能正常工作,甚至烧毁。因此等离子清洗机对射频电源的技术要求是很高的

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企业简介
深圳三和波达机电有限公司
深圳三和波达机电科技有限公司是一家研制、开发、设计、生产、销售、服务于一体的高新技术企业。大型工业自动化的大型中外合作企
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单价 10000.00 / 台对比
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发货 广东深圳市付款后3天内
库存 100台起订1台
品牌 三和波达
不锈钢舱体 Φ100mm×270mm
功率 150W
射频电源 40KHZ
过期 长期有效
更新 2015-07-13 10:57
商品图集

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