东莞市启天自动化设备有限公司是一家专业从事机械设备、研发制造的知名企业，位于东莞市樟木头，自公司成立以来，我们始终以高技术，高品质，以及完善的售后服务得到广大客户的一致好评和认可，目前已成为国内同行业知名的设备供应商之一。 公司主要从事等离子体清洗刻蚀处理设备的研发和生产，生产的设备广泛用于LCD，PCB，微电子，连接器等行业。公司目前已聚集了一批国内最早从事等离子体处理设备生产研发的专业技术人才，他们在这个领域里有着丰富的理论知识以及实践经验，正因为有了这支技术力量雄厚的队伍，所以我公司可根据客户的实际要求量身定制各种非标设备和现有的设备改良，以满足客户的需求。确保产品结构和制程的合理性。 我们将以客户的需求为准则，用高效完善的运作体系来持续满足客户需要，力求一次把事情做好，坚信最少的故障就是最低的成本，最少的维修就是最好的售后。长期以来在为客户提供高附加值产品的同时，追求与客户的生产工艺技术共同进步，彼此促长。并真诚、认真对待每一次合作的机会，以达到提高自身能力的目的.我们将与各界新老朋友携手共进、共创双赢！ 

适用于PCB生产行业，此外应用于处理大型及复杂结构的工件。    真空系统泵采用无油前级泵加罗茨泵泵组结构，即保证抽速，又保证腔体洁净度，同时无油泵例如爪式干泵易维护、噪声小、抽速快，相对于部分耐腐蚀的油泵来说，其维护以及运作成本大大降低，同时该泵是适合于强氧化气体及含氟离子的特殊环境下工作的，大大提高泵体的寿命，罗茨泵的使用，是为在真空度低于1000帕时提高抽速，使之更快达到工作压强，既分担了单一泵体的工作压力，又提高了效率。    自动控制系统，采用PLC进行全程控制，性能稳定，功能全面， 人机界面友好，采用12.1或10.4英寸触摸屏；或采用PC加显示器进行控制，可设定工艺过程参数，可对大量实时数据进行采集记录、打印，还具备事件报警，配方储存，数据报表等强大功能，可用PID模式自动控制真空度、极板温度等。     供气系统，采用5路气体质量流量计，分别用来控制不同的气体，通过一定的技术处理，使用户在计算机操作平台上可以方便的置入工艺生产中所需的气量。另外我们的供气管道采用了进口的高精度抛光不锈钢管，内壁光滑、气阻小，气体的流量更加稳定可靠。    电极系统，该设计对等离子激发空间均匀性大大改善，在同一平面上等离子刻蚀清洗的速率更加一致，控制电力参数由系统结构设计获得，并能很好的控制电极的温度均一性，总之，电极整套体系的结构及与之交互作用的参数的合时控制，使电极对等离子的可控性大大提高。竖直电极的设计加上工件架的配合使用，使不同板材的PCB可以方便、安全可靠地放于电极之间，使电极间空间利用率达到最大。    水平电极的设计可以根据现场需要调整电极板间距，以适用于不同外形尺寸的工件放置，灵活多样而又保持一定的组合形式。保证质量且提高了效率。    根据不同的电极结构，我们设计、制造了多种不同的工件架，分别应用于硬纸板材和软质板。工件架的特点，装卸方便、安全可靠，适合各种规格板材的摆放，保证了生产效率。工件架的设计结合了电极的结构，将电极之间的空间利用率达到最高。

 尾气处理系统采用了水吸收HF的方式，并且在水中加入了弱碱进行中和反应，避免对环境造成二次污染