无尘烤箱技术指标
1.产品特点：
◆ 内、中桶材质采用SUS304＃无磁性镜面不锈钢，外膛采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆，可防止微尘(PARTICLE) ；
◆ 全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生PARTICLE；
◆ 耐高温，能有效过滤微尘而达到洁净等级class100＃；
◆ 叠层组合式，减少场地占用面积，效率高。
2.无尘烤箱适用范围： LCD、CMOS、IC制程烘烤。
3.无尘烤箱技术参数：
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型 号 |
SPQ3-80 |
SPQ3-100 |
SPQ3-150 |
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内部容积 |
80L |
100L |
125L |
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内部尺寸 |
50×40×40 |
50×45×45 |
50×50×50 |
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内尺寸表示为：W×H×D 宽×高×深 单位：cm |
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功率(KW) |
3.0 |
3.5 |
4.0 |
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系 统 |
PID智能调节或可编程PID自动调节 |
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温度范围 |
RT+10℃～200℃ |
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温度偏差 |
±1.0℃ |
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波 动 度 |
±0.5℃ |
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洁 净 度 |
100级 |
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内体材料 |
SU304不锈钢板 |
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外箱材料 |
SU304不锈钢板或防锈处理冷轧钢板（喷塑） |
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保温材料 |
超细玻璃棉 |
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加 热 器 |
镍铬合金电热式加热器 |
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循环系统 |
轴流风机 |
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控制系统 |
高精度微电脑型LED显示温度控制器或LCD显示温度控制器 |
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标准配置 |
样品架2层、电源线1条 |
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可选配置 |
测试孔（￠25m位于门上)、增加的样品架 |
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注：另外可按照客户需求尺寸定做产品。
