主要采用脉冲高频高压等离子体电源和双介质齿板放电装置，*放电形式产生高浓度离子。等离子体是一种聚集态物质，其所拥有的高能电子能在毫秒级的时间内，瞬间击穿空气和废气分子，发生一系列分化裂解反应，产生高浓度、高强度、高能量的活性自由基和各种电子、离子等，在与机废气中的分子碰撞时会发生一系列基元物化反应，并在反应过程中产生多种活性自由基和生态氧，即臭氧分解而产生的原子氧。

低温等离子废气处理设备功能特点：

1. 具有一次性净化效率高，能同时净化多种污染物;

2. 防火性能采用开关，电源，电路三重自动保护，持久的净化功能，无须专人看管;

3. 设备体积小，结构紧凑，工艺成熟;

4. 设备投资少，运行成本低;

5. 安全稳定，维护方便，使用寿命长;

6. 净化效率高，无二次污染。