低温等离子体技术是采用脉冲高压高频等离子体电源和齿板放电装置，电子获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中，获得能量的分子或原子被激发，同时部分分子被电离产生高强度、高浓度、高电能的离子、活性集团，之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热能。另外，高能电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获成为负离子。这类负离子具有良好的化学活性，在化学反应中起着重要的作用。

废气中的污染物质可与这些具有较高能量的物质发生反应，使废气分子电离、解离和激发，然后引发一系列复杂的氧化还原反应，使复杂大分子污染物转变成为简单小分子无机物，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。