Dektak Pro
Dektak Pro™ 以其多功能，使用的便捷性和准确的精度在薄膜厚度、台阶高度、应力、表面粗糙度和晶圆翘曲测量方面广受赞许。第十一代Dektak®系统，具有4 Å重复性的优异表现，并提供200毫米平台选项，在科研以及工业领域中可以为材料的表面形貌提供各种分析。在表面测量方面，Dektak Pro是微电子技术、薄膜与涂层和生命科学应用的理想选择。
更准确的精度
在探针式轮廓仪测量中，探针针尖沿表面移动，获得沿轨迹每个点的高度信息，从而实现高分辨率的表面形貌分析。探针式轮廓仪测量因其高精度和低成本而广受认可，新研发的技术进步进一步提高了速度和多功能性，以满足精密工程应用不断变化的需求。
强大的性能和重复性
Dektak Pro以其强大的分辨率、稳定性、稳健性和耐用性，确保在未来数年甚至数十年内提供可靠的优质结果。新型号在Dektak平台上继承创新，提供更高的分辨率、更低的噪声和更便捷的探针更换，所有这些因素对于优化系统的重复性和准确性至关重要。
在适当的环境下，Dektak Pro甚至能够测量1纳米的台阶高度，并在1微米台阶高度标准上实现优于4 Å的重复性。
性能体现在细节之中
Dektak Pro的单拱设计有效降低了对不利环境条件（如噪声和震动）的敏感性，同时又可容纳大尺寸样品测试。新一代的智能电子技术应用更大限度地减少了温度变化和电子噪声，从而减少了高精度测量中的误差和不确定性。
低惯量传感器（LIS 3）使系统能够快速适应表面形态的突然变化，在动态测量场景中保持准确性和响应性。探头更换技术通过自对准探头夹具，消除了错位和系统重新校准的需要，轻松完成探头更换，耗时不到一分钟。
快速获取结果
Dektak Pro采用直驱扫描平台技术，这一先进的扫描平台技术大大减少了测量的时间而不影响分辨率和噪声底，从而加快了3D形貌或长轮廓扫描的结果获取速度，同时保持优异的数据质量和重复性。
Vision64®软件采用64位并行处理技术，即使面对大数据也能实现快速的数据处理。此外，自动化的多次扫描分析操作简化了重复性任务，增强了速度和便捷性。
更简便的操作
数据收集在Bruker的Vision64软件中进行，该软件具有简化的图形用户界面，结合了智能架构、直观的可视化工作流程和丰富的用户自定义自动化功能。Dektak Pro进一步改善了数据收集体验，具体体现在：
● 更小的光学畸变，使整个视野都保持清晰聚焦，方便快速感兴趣测试位置
● 单一测量头可覆盖1 nm至1 mm的台阶高度和1至15 mg的负载（在N-Lite+模式下可低至0.03 mg），无需重新校准
● 简单的操作员图形用户界面，用于自动化测量设置并简化操作
扩展您的分析能力
Vision64中的数据分析器通过数据过滤、自动调平、自动台阶检测和recipe能力，使分析变得更加强大而简单。
• 台阶高度
Dektak Pro强大的新台阶高度算法为各种复杂的表面轮廓测量提供可靠且全面的结果。其自动化分析程序还能够更大限度地减少了用户对台阶高度计算的影响，提高了数据解释的一致性和客观性。
• 表面粗糙度和波纹
Dektak Pro提供了一种高性价比且用户友好的解决方案，以高精度量化表面粗糙度、纹理和波纹度。多种探针规格、用户可定义的探针力（1–15 mg，使用N-Lite+可低至0.03 mg）和可达1mm的垂直测量范围使得在各种表面上的测量成为可能。
• 2D应力测量
借助Dektak Pro，用户在2D应力分析中拥有强大的控制力。通过用户定义的异常点去除和拟合边界，可以实现更可重复、更高精度的应力测量。
• 晶圆翘曲测绘和3D应力测量
准确评估由膜应力引起的变形对于开发可控工艺和制备高质量器件至关重要。Dektak Pro准确测量可能导致变形、开裂和层间剥离的膜应力。
全面的应用环境
Dektak Pro 满足研发、工艺开发以及当前和未来质量保证/质量控制（QA/QC）的需求，适用于多种工业和研究应用，包括：
• 微电子
监测沉积和刻蚀过程
测量器件和传感器高度
评估沟槽深度
• 薄膜与涂层
验证眼镜上的UV/硬化涂层
优化水龙头/配件上的装饰涂层
分析油漆或墨水涂层厚度
• 生命科学
分析生物材料的厚度
评估生物传感器的表面形貌
表征微流体通道
Dektak Pro产品参数
| 测量技术 | 探针轮廓测量（接触测量） |
| 测量功能 | 二维表面轮廓测量；可选三维测量 |
| 样品视野 | 可选放大倍率， 0.275到2.2 mm |
| 探针传感器 | 低惯量传感器（LIS 3） |
| 探针压力 | 1到15 mg，使用LIS 3传感器 |
| 低作用力 | N-Lite+ 精微力传感器，0.03到15 mg（可选） |
| 探针选项 | 探针半径选项从50 nm到25 μm； 高径比（HAR）针尖200 μm x 20 μm； 可根据客户要求提供定制针尖 |
| 样品台 XY载物台 | 手动100 mm（4"），手动调平； 电动150 mm（6"），手动调平； 带编码器电动200 mm（8"），手动调平 |
| 样品旋转台 | 手动或自动，连续360° |
| 减震装置 | 减震装置可用（选配） |
| 扫描长度范围 | 55 mm（2"）；200 mm（8"）具备扫描拼接能力 |
| 每次扫描数据点 | 可达120,000个数据点 |
| 样品厚度可达 | 50 mm (1.95") |
| 晶圆尺寸可达 | 200 mm (8") |
| 台阶高度重复性 | 4 Å, 1 sigma （ ≤1 μm 标准台阶样品) |
| 垂直范围 | 1 mm (0.039") |
| 垂直分辨率 | 1 Å (@ 6.55 μm 范围) |
| 输入电压 | 100 到 240 VAC, 50 到 60 Hz |
| 温度范围 | 工作范围20到 25°C (68 到 77ºF) |
| 湿度范围 | ≤80%, 无冷凝 |
| 系统尺寸与重量 | 尺寸：455 mm W x 550 mm D x 370 mm H（17.9" W x 22.6" D x 14.5" H）； 重量：34 kg（75 lb）； 外壳尺寸：550 mm L x 585 mm W x 445 mm H（21.6" L x 23" W x 17.5" H）； 外壳重量：5.0 kg（11 lb） |
