在洁净室的吊顶上安装多台风机过滤单元机组构成净化循环机组，不需要配置净化循环空调机房，送风静压箱为负压

。循环空气由 FFU送到洁净室，从回风静压箱经两侧夹道回至送风静压箱，根据洁净室的温度调节需要，一般在回风夹道

设有干式表冷器。

     新风处理机可集中设在空调机房内，处理后的新风直接送入送风静压箱。因送风静压箱为负压，有利于高效过滤器顶

棚的密封；而且这种方式可按洁净要求，很方便地增减 FFU，还可加设化学过滤器，过滤器更换时，FFU单元仅个别停止，

灵活性较好。但由于 FFU机组台数较多，在满布率较高时，一般投资较大，运行费用亦多，有的 FFU噪声也较大。





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