SRP-4 探头规格

准确度：±5%参考标准片

精确度：化学铜：标准差0.2 %，电镀铜：标准差0.3 %

分辨率：0.1μm≥10μm，0.01μm<10μm，0.001μm<1μm，0.01mils≥1 mil，0.001mils<1mil

厚度测量范围：化学铜：0.25μm–12.7μm（10μin–500μin）

电镀铜：2.5μm–254μm（0.1mil–10mil）

线性铜线宽范围：203μm–7620μm（8mil–300mil）

ETP 探头规格

准确度：±5%参考标准片

精确度：1.2 mil 时，1.0% （典型情况下）

分辨率：0.01 mils (0.25 μm)

电涡流：遵守ASTM E37696 标准的相关规定

测量厚度范围：0.08 - 4.0 mils (2 - 102 μm)

孔最小直径：35 mils (899 μm)

孔径范围： 0.899 mm-3.0 mm